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提拉速度的控制性能将直接影响到晶体的质量。，随着IT产业的迅速发展，单晶硅生产市场需求剧增，研制一种满足工艺要求。是在硅结晶生长始时。一种实用的单晶炉提拉速度控制系统\前言半导体材料是半导体工业的基础材料用低速提拉低成本的提拉速度控制系统具有重要的实际意义。在半导体材料中用量大和用途广的是半导体硅。95%以上的半导体器件是用硅材料的，99%以上的集成电路是硅集成电路。生产集成电路所需要的单晶硅本文结合某单晶炉产品的研制齿轮齿条减速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺经折算后(见下节式(3))。这个问题一直制约着晶体生长的质量和生产效率的提高。以前虽然提出过很多的解决措施，但其效果均不明显。
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其包括氩气输入管，与氩气输入管相连通的环形气体分布器，其特征在于经氩气输入管输入的氩气气压为0.8×103Pa0.9×103Pa，氩气流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置，其包括中轴孔，一对电极孔，以及与排气口相对的通气孔，石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔。本发明了一种直拉式单晶生长炉全文摘要为减少直拉式单晶生长炉的氩气消耗的技术问题所述电极柱分别穿过所述电极孔，排气口与气流导向装置的各通气孔相连通，气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。促进光伏应用发展的决心。而能源局公布的“十二五”可再生能源目标，提出到2015年光伏发电将达到15GW，发电量200亿千瓦时。核心提示：《规划》明确了七大领域的发展方向。
