旧单晶硅炉泰州兴化螺杆真空泵每台多少钱坩埚驱动装置，主炉室，翻板阀，副炉室，籽晶提升机构，液压驱动装置，真空系统，冲氩气系统及水冷系统。机架由底座，上立柱和下立柱组成，是炉子的支撑装置。炉子本体包括机架单晶炉的结构及基本操作的光伏产业凭借着自身的努力。4为保温材津牛，5为保温罩，6为加热器，7为水套，8为石英埚，9为导流筒，IO为护盘，12为氩气输入管，11为分布有孔11-1的环形气体分布器，13为排气口。技术领域：本发明涉及一种直拉式单晶生长炉。背景技术：图1为切克劳斯基(直拉)法硅单晶的单晶炉剖面示意图，图1-2中，l为炉筒，2为保温盖。名称：直拉式单晶生长炉的方法直拉式单晶生长炉的方法3为保温盖直拉硅单晶在生长过程中需要向炉内不断充入氩气从而影响了单晶炉的使用寿命。因此上述图1的单晶炉的不足之处在于单晶炉内空间较大氩气流量为40L/min，因此其氩气消耗量大，生产成本较高。影响单晶炉的使用寿命。且其向炉内充入氩气时的充气气压在1.3xi03Pa以上，导致其氩气流量较大，故而氩气消耗量大，生产成本较高。
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? 真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的能，可以大致分为加热系统，传热及支撑系统，导流系统，保温系统等。如加热系统包括加热器，石墨电极，连接螺栓等部件，传热及支撑系统包括石墨坩埚，石英坩埚，托盘，坩埚轴等部件，导流系统包括导流筒等部件，保温系统包括保温盖，保温筒，保温炭毡等部件。热场温度区域的分布，直接影响了拉晶生产是否能顺利进行。并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料以及晶棒的拉速和品质。而石墨加热器作为加热系统的核心部件2加热器的工作原理与使用要求。
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5其特征在于所述气流导向装置(20)各通气孔(2-3)与该炉的排气口(13)通过通气管(19)相连通。7，根据权利要求6所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述气流导向装置(20)由石墨制成。其包括中轴孔，一对电极孔，以及与排气口相对的通气孔，石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔，所述电极柱分别穿过所述电极孔，排气口与气流导向装置的各通气孔相连通。本发明了一种直拉式单晶生长炉氩气流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。与氩气输入管相连通的环形气体分布器，其特征在于经氩气输入管输入的氩气气压为0.8×103Pa0.9×103Pa。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，提拉头：主要由盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成
