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发布:2024/5/2 2:20:03 来源:shxj365


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通过石墨加热器产生的高温将其熔化,然后,对熔化的硅液稍降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面。把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚原理编辑首先待籽晶与熔体熔和后随后生长出一定直径规格大小的单晶柱体。单晶硅片由此进入生产流程:1、酸洗:使用稀HNO3,进行清洗,去除表面杂质及时产生的四硅。2、清洗:清洗硅料经过酸洗后的残留杂质。3、单晶硅料烘干:去除水分。4、挑料:区分P型,N型硅料。5、配料:对拉晶的硅料型号进行匹配。6、单晶炉拉晶:7、硅棒检测:检查有无位错,棱线断等现象。8、断:将单晶硅棒用带锯条切割成四方体。9、包装:将断后的单晶硅棒进行包装,送下一道工序10、磨圆:将单晶硅棒四个直角进行磨圆。11、多线切割:瑞士的2 设备进行切割0.33mm。12、清洗:13、单晶硅片检测:单晶炉的结构单晶炉炉体(包括板、主炉室、炉盖、隔离阀室、副炉室、籽晶提升旋转机构和坩埚提升旋转机构)由304L不锈钢。

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